日本optiworks 4D技術(shù)表面輪廓儀NanoCam Sq

特征

地表觀測(cè)系統(tǒng)基于有的超高速干涉儀“動(dòng)態(tài)干涉儀"
4D技術(shù)自主研發(fā)的“動(dòng)態(tài)干涉儀"，可實(shí)現(xiàn)100微秒標(biāo)準(zhǔn)的超高速干涉測(cè)量。即使在無(wú)法避免振動(dòng)的地方也可以進(jìn)行測(cè)量。

輕巧緊湊
機(jī)身尺寸約為 24 x 24 x 8 厘米，重量約為 4.6 千克。便攜性強(qiáng)，可攜帶在被測(cè)物體附近進(jìn)行接近測(cè)量。多種可選

鏡頭 長(zhǎng)工作距離干涉儀用物鏡 ×2.5、×5、×10、×20、×50（開發(fā)中）

內(nèi)置LED光源（460nm）

綜合分析軟件“4Sight™" 

“動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量法"

傳統(tǒng)的移相干涉儀使用壓電元件等移動(dòng)參考平面，獲取干涉條紋的圖像，并計(jì)算相位分布。單次測(cè)量至少需要100毫秒，在此期間干涉儀與測(cè)量樣品之間會(huì)發(fā)生相對(duì)振動(dòng)和空氣波動(dòng)，導(dǎo)致干涉條紋發(fā)生波動(dòng)，導(dǎo)致測(cè)量誤差增加。為了防止這種情況，需要光學(xué)面板、防振裝置、擋風(fēng)玻璃等。
4D Technology的動(dòng)態(tài)干涉儀是一種劃時(shí)代的系統(tǒng)，以其“動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量"解決了此類問(wèn)題。
在“動(dòng)態(tài)干涉"中，無(wú)需機(jī)械移動(dòng)參考平面，一次圖像數(shù)據(jù)采集即可獲得四幀相移干涉圖。由于對(duì)相機(jī)的每個(gè)像素進(jìn)行相移，因此可以穩(wěn)定地收集數(shù)據(jù)，并且由于一次測(cè)量的時(shí)間可以縮短到 30 微秒，因此可以在干涉圖像因振動(dòng)等而發(fā)生變化之前的瞬間進(jìn)行測(cè)量.完成。
這使得可以在振動(dòng)不可避免的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量遠(yuǎn)處的樣品和移動(dòng)物體，以及測(cè)量在室內(nèi)進(jìn)行環(huán)境試驗(yàn)的樣品。

日本optiworks 4D技術(shù)表面輪廓儀NanoCam Sq

“4Sight™"數(shù)據(jù)分析軟件

用于高級(jí)干涉儀的高級(jí)軟件。4D Technology 的 4Sight™ 被認(rèn)為業(yè)界良好的干涉測(cè)量軟件。

數(shù)據(jù)采集
?可以在4Sight™測(cè)量控制臺(tái)查看實(shí)時(shí)圖像的同時(shí)進(jìn)行調(diào)整
?多種數(shù)據(jù)采集模式，如單次、平均、連續(xù)、差分和突發(fā)（電影）

數(shù)據(jù)分析
?斜率、直方圖
?衍射分析（PSF、MTF、自協(xié)方差）
?幾何光學(xué)分析（點(diǎn)擴(kuò)散強(qiáng)度分布、圓形或方形孔徑能量分布）
?澤尼克分析
?各種掩模函數(shù)和其他自定義分析函數(shù)可以添加。