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日本sanyu electron桌面快速涂布機 SC 系列

日本sanyu electron桌面快速涂布機 SC 系列

更新日期：2024-05-14

訪問量：948

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：

簡要描述：
日本sanyu electron桌面快速涂布機 SC 系列
直流濺射類系列中最小的超緊湊型號
配備皮拉尼真空計，確保成膜條件的再現(xiàn)性
標(biāo)配手動快門
TS 之間的距離可以通過專用的樣品臺和載物臺輕松改變。
由于它可以鍍上鎢，因此它也可以用于制備高分辨率 SEM 的樣品。

日本sanyu electron桌面快速涂布機 SC 系列


特征

  • 直流濺射類系列中最小的超緊湊型號

  • 配備皮拉尼真空計，確保成膜條件的再現(xiàn)性

  • 標(biāo)配手動快門

  • TS 之間的距離可以通過專用的樣品臺和載物臺輕松改變。

  • 由于它可以鍍上鎢，因此它也可以用于制備高分辨率 SEM 的樣品。



應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 適用于各種設(shè)備的電極膜附件

  • 用于制造反射薄膜等

日本sanyu electron桌面快速涂布機 SC 系列

基本規(guī)格

陰極φ2寸直流磁控管/平板型電極
適用對象Au / Pt / Au-Pd / Pt-Pd / Ag / Pd / W / Ni / Mo / Cr / Ti / Al
壓力測量皮拉尼真空計
壓力控制針閥手動控制
引入直徑 外徑 φ6mm 一鍵式接頭
工藝氣體氬氣
真空泵直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵：20L/min（帶自動漏液）
腔室尺寸內(nèi)徑φ90×D90mm（SUS制）
樣品交換方式前門開閉式
尺寸（寬/深/高）機身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm
重量身體：9 公斤 反相：9 公斤


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