日本ACE層流壓差型質量流量控制器
更新日期：2024-05-11
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簡要描述：
日本ACE層流壓差型質量流量控制器AFC / AFM系列AFC-250實現(xiàn)高速實際流量響應控制?由于還可以輸出氣體系統(tǒng)的溫度和壓力信息，因此它是診斷氣體供應系統(tǒng)的理想選擇。
日本ACE層流壓差型質量流量控制器AFC / AFM系列AFC-250
日本ACE層流壓差型質量流量控制器AFC / AFM系列AFC-250
層流壓差型質量流量控制器AFC / AFM系列AFC-250
該流量控制器測量當氣體流過小層流元件時產生的氣體的壓差，校正溫度和壓力，并測量和控制質量流量。
通過采用小的層流元件實現(xiàn)了小型化。
隨著流量的元素的適當選擇，可以從微小流量到大流量處理。
- ♦支持中到大流量
通過選擇元件可以支持50NLM至500NLM。 - ♦它是全流量系統(tǒng)的流量測量和控制，可抵抗暫時的水污染和流入的氣體凝結。
- ♦實現(xiàn)高速實際流量響應控制
- ♦由于還可以輸出氣體系統(tǒng)的溫度和壓力信息，因此它是診斷氣體供應系統(tǒng)的理想選擇。
| 目標氣體 | N2，空氣，H2，CH4，Ar，O2等 |
| 流量范圍 | 50NLM-500NLM（0°C，1個大氣壓轉換） |
| 控制范圍 | 5-100FS |
| 準確性 | 2％FS |
| 重復性 | ±0.2％FS |
| 反應速度 | 在2秒內（達到滿刻度設置的±2％的時間） |
| 控制范圍 | 2-100 |
| 工作溫度極限 | 0-50℃（15-35℃：保證精度），無凝結 |
| 耐壓 | 0.99兆帕 |
| 外密封 | 1×10 -7 Pam 3 /秒（He）以下 |
| 輸入信號 | 0-5VDC，RS485（4-20mA出廠選項） |
| 輸出信號 | 0-5VDC，RS485（4-20mA出廠選項） |
| 電源電壓 | DC24V±10％200mA以下 |
| 氣體接觸材料 | SUS316，Viton等（與SUS316L兼容） |
| 電源連接器 | D-Sub 15針 |
| 氣門驅動氣壓 | 0.4-0.5MPaG的 |
| 尺寸 | 面對面尺寸174毫米高度128毫米（不包括連接器）取決于流量 |
| 管件 | 3/8或1/2“世偉洛克等效接頭（可用VCR等效接頭） |
