多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析

發(fā)布時間： 2022-04-26　　點擊次數(shù)： 1127次

多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析

可以測量從半導(dǎo)體等精密加工產(chǎn)品到眼鏡和汽車零件的各種樣品的膜厚。

F3-CS桌面式膜厚測量系統(tǒng)

F3-CS 是測量小樣品的測量系統(tǒng)。與測量臺集成的測量系統(tǒng)使其易于攜帶。
只需將樣品的測量面朝下放在載物臺上即可進(jìn)行測量，大約1秒即可測量膜厚和折射率。

光學(xué)鍍膜	硬涂層、防滴膜等
平板	有機(jī)膜等

模型	F3-CS-UV	F3-CS	F3-CS-近紅外
測量波長范圍	190 – 1100nm	380 – 1050nm	950 – 1700nm
膜厚測量范圍	3nm – 40μm	15nm – 70μm	100nm – 250μm
準(zhǔn)確性*	± 0.2% 薄膜厚度		± 0.4% 薄膜厚度
準(zhǔn)確性*	1納米	2納米	3納米

*取決于樣品和測量條件

產(chǎn)品中心 Products